Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Décollage de tranches / Décollage à sec
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Procédés de décollage et de détachement à sec
CAPACITÉ:
Taille de la tranche: 200 mm
Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm
Matériau de la tranche: silicone, verre, plaquettes liées
Procédés:
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