CAPACITÉ:

Volume de la chambre : 127 litres

Dimensions de la chambre : 18 La x 24 H x 18 Lo pouces

Technologie d’une électrode par tablette, pour 14 positions

Électrodes d’aluminium avec isolateurs en céramiques

Générateur RF 13.56 MHz avec adaptation de l’impédance automatique

Réseau de réglage RF automatique de type L-C

Dimension des tablettes power : 13.74 La x 16.73 Lo pouces

Dimension des tablettes ground : 15.1 La x 16.73 Lo pouces

Régulateurs de débit distincts pour 4 gaz

Gaz actuellement disponibles : oxygène, argon, azote