CAPACITÉ:    

Plateforme de métrologie modulaire: 300X300X200mm

Précision: 3 µm (axe z)

Spécifications technologiques: mfd 2nm / mm, sigma / step inf. 3 nm

2 sondes indexées intégrées

2 sondes confocales chromatiques

Caméras vidéo à zoom fixe pour la programmation des zones de mesure

3 axes motorisés DC: XYZ

Résolution des codeurs: 0,1 µm

Correction d’axe non linéaire

Calibration d’hystérésis

Logiciel compatible avec Windows XP