CAPACITÉ:    

Résolution: 1,5 nm à 30 kV et à 8 mm WD

Grossissement: 10X à 500 000X

Courant de sonde: 10-12 à 10-10 A

Canon à électrons: émission de champ à cathode froide

Détecteurs: Scintillateur / photomultiplicateur

Détecteur rétrodiffusé GW Electronic System 47

Tension d’accélération: 500V à 30kV

Dimensions de la chambre:

• Type: Stade du goniomètre entièrement eucentrique
• X = 100 mm
• Y = 110 mm
• Z = 34 mm
• Inclinaison: -5˚à 60˚
• Rotation: 360˚ sans fin

Échange d’échantillons:

• Par sas: jusqu’à 150 mm de diamètre. Porte-échantillons
• Par sortie de chambre: 200 mm de diamètre ou plus grands porte-échantillons

Détecteur EDS: Si (Li) (30 mm2) Prism 2000 avec système d’acquisition Imix permettant la détection de Be

Détecteur EBSD: Oxford HKL permettant une orientation cristallographique