Laboratoire analytique / Analyses de surface / Radiographie de spectroscopie photoélectronique (XPS)
Physical Electronics – Quantera II
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Analyse chimique moléculaire des premières couches atomiques d'une surface. Fournit une spectroscopie à grande et à micro-zones à haute sensibilité, un profilage inorganique et organique de profondeur supérieur et une analyse entièrement automatisée des échantillons isolants ou conducteurs
CAPACITÉ:
Faisceau de rayons X focalisé et scan pour l’imagerie et l’analyse des échantillons
Taille du spot radiographique programmable entre 9 µm et 300 µm (min. ≤ 7,5 µm)
Analyseur d’énergie de condensateur sphérique avec détection multicanal
Pistolet ionique à pulvérisation d’argon basse tension haute performance (≥ 5,0 µA à 5 kV)
Compensation de charge à double faisceau
Platine d’échantillon de précision à grande course 5 axes
Manipulation robotisée des plateaux d’échantillons
Taille de l’échantillon 75 mm x 75 mm x 25 mm ou 100 mm rond (plaquette de 4 pouces)
Chambre d’analyse à vide ultra élevé pour éviter la contamination
Vide du système ≤ 6,7 x10-8 Pa
Pression différentielle du pistolet de pulvérisation ionique Ar ≤ 6,7 x 10-6 Pa
Sensibilité élémentaire ≥ 15 000 cps à ≤ 0,6 eV, sur Ag 3d5
Profilage de la profondeur de pulvérisation inorganique et organique la plus performante
Neutralisation de charge à double faisceau
