CAPACITÉ:    

Colonne de rayon-X:

• Tension maximale 160 kV
• Courant max 600µA
• Résolution d’imagerie inférieure au micron
• 3 modes de mise au point (nanoFocus, microFocus, High Power)

Aire de travail:

• Envergure X: 41 cm
• Envergure Y: 31 cm
• Résolution de 1 µm sur la position de la scène
• Rotation de l’échantillon à 360 °
• Diverses méthodes de maintien d’échantillons, ex : plateau Jedec

Fonctionnement manuel (joystick) ou inspection entièrement programmable