CAPACITÉ: Isopode – élimination des résistances in situ Bande in situ pour la prévention de la corrosion Élimination des polyimides
CAPACITÉ: Opération d’entrée / sortie automatisée de pod SMIF de séchage / séchage; Le mini-environnement dans un banc humide garantit
CAPACITÉ: Choix des sources de plasma Le gax de formage à 3.5% offre l’avantage de la catalyse pour la génération