Nadatech DP4200s / INX

Nadatech DP4200s / INX

Integrated microsystems laboratory (MEMS) / Wafer handling / Transfer system

Nadatech DP4200s / INX

Supplier :

Model :

Purpose :

Sort, align, flip and transfer wafers between SMIFs and open cassettes

CAPABILITY:

Wafer size: 200 mm

Thickness range of wafers: 300 – 1400 µm

Wafer material: Silicon, Glass, Bonded wafers, Perforated wafers

Transfer wafers between SMIFs and Open cassettes

Sort wafers in ascending/descending order

Notch alignment within ±0.1 °

Flip wafers

Prevent frontside and backside particle contamination

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