Integrated microsystems laboratory (MEMS) / Dry etching / 02 plasma polymers strip
CAPABILITY:
Choice of plasma sources
Forming gas 3.5% provides the advantage of catalysis for generation of atomic oxygen in plasma
Possibility of additional gas for removal of Bosch process polymers
Excellent uniformity and repeatability
High throughput
End-point detection
Very fast ashing of a variety of polymers:
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