Laboratoire d'assemblage de semi-conducteurs / Découpage de tranches / Amincissement automatique des tranches
Accretech PG3000 RM
CAPACITÉ:
Traitement automatique de tranches ultra minces
Montage automatique sur cadre de découpe FF123
Station de polissage chimique/mécanique d’une rugosité de 0.15µm
TTV sans film ou résine de protection 2.5µm
Mesure de l’épaisseur sans contact
Propreté :
- nettoyage du mandrin
- nettoyage pré et post amincissement du film de maintien
- nettoyage du bras et du pad manipulateur
Précision de centrage de la tranche à l’intérieur de 0.5mm
Précision de l’entaille d’alignement de la tranche pour le cadre de découpe à l’intérieur de 0.5 degrés