Electronic SRL Leonardo 300LO

Electronic SRL Leonardo 300LO

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Décollage de tranches / Décollage à sec

Electronic SRL Leonardo 300LO

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Procédés de décollage et de détachement à sec

CAPACITÉ:    

Taille de la tranche: 200 mm

Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm

Matériau de la tranche: silicone, verre, plaquettes liées

Procédés:

  • Décollage à sec de couches métalliques (SAES Getters et Au) déposées sur un matériau de type PerMX
  • Retrait du ruban de protection

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