Laboratoire d'assemblage de semi-conducteurs / Attachement du capot / Positionnement de capot
IBM ACDC
CAPACITÉ:
Système de portique à axes multiples (cartésien)
Mode de production en continu par l’utilisation d’un convoyeur à saute-mouton.
2 têtes indépendantes pour le prélèvement / placement du couvercle
Livraison du couvercle via 2 tiroirs pour un fonctionnement continu
Zone de prélèvement programmable du couvercle 300 x 360 mm
Plusieurs poches / positions programmables dans la zone de sélection
Taille maximale du capot 70 x 70 mm
Course en Z jusqu’à 2 pouces
Quatre caméras à balayage de zone pour le placement et l’inspection
Inspection de présence / absence de produit chimique sur la puce et / ou le substrat
Inspection de l’orientation du substrat au capot
Positionnement des bords avec une précision de 50 µm
Résolution de l’encodeur X-Y : 0,1 µm
Pression / force appliquée entre 0,8 et 6 Kg.
Auto-étalonnage pression / force
Temps de pression programmable