Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Métrologie / Inspection infrarouge
McBain DDR2000 SWIR
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Surveillance infrarouge de l'alignement / dimension latérale et des défauts à l'intérieur des empilements de tranches collées
CAPACITÉ:
Taille de la tranche: 200 mm
Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700 µm
Types de tranches: silicium, verre, piles de plaquettes Si-to-Si liées, piles de Si-to-Glass liées
Mesure de superposition d’interface de liaison
Inspection des vides dans le collage
Mesures de superposition multicouche
Dimension latérale à l’intérieur des piles de tranches
Inspection de la cavité intérieure ou du défaut TSV
Imagerie du stress des tranches par dépolarisation infrarouge à balayage (SIRD)
Inspection et métrologie infrarouge des tranches perforées
