Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Manutention des tranches / Sérigraphie
Nadatech DP4200s / INX
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Trier, aligner, retourner et transférer les plaquettes entre les SMIF et les cassettes ouvertes
CAPACITÉ:
Taille de la tranche: 200 mm
Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1400 µm
Matériau de la tranche: silicone, verre, tranches liées, tranches perforées
Transfert de tranches entre SMIF et cassettes ouvertes
Trier les tranches par ordre croissant / décroissant
Alignement de l’encoche à ± 0,1 °
Flip wafers
Empêcher la contamination des particules à l’avant et à l’arrière
