Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Métrologie / Inspection de couches minces
N-K Technology Inc.
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Outil de métrologie de reconnaissance de formes pour couches minces
CAPACITÉ:
Réflectométrie spectroscopique
UV-VIS-NIR-IR
Épaisseur de film de 190 nm à 15.0 µm
Propriétés du film (t, n, k):
- Films organiques (UV)
- Métaux (UV)
- Films diélectriques (UV-VIS)
- Contrôle qualité SOI (NIR)
- Membranes en Si (NIR)
- Polymères épais (FIR)
Cartes de stœchiométrie
Possibilité de cartographie de profondeur, de CD et de profil pour les tranchées et TSV (avec AR jusqu’à 20: 1)
