Laboratoire analytique / Laboratoire de gravure / Incinérateur plasma
Plasmaline 415 (Barrel etcher)/ March CS-1701 etcher (RIE)
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Outils de gravure à sec pour le nettoyage de surface ou la délamination
CAPACITÉ:
Chambres à plasma 13,56 MHz
Graveur à barillet pour gravure anisotrope et outil RIE pour gravure isotrope
Différents gaz disponibles pour la gravure de différents matériaux: O2, SF6, CHF3, CF4, Ar
Taille maximale des échantillons: jusqu’à 5po
Puissance plasma:
- Plasmaline 415: 300W
- Mars: CS-1701: 600W
Contrôle de température disponible sur l’outil RIE (refroidisseur)
