SPTS Versalis FxP APS module

SPTS Versalis FxP APS module

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure dielectrique

SPTS Versalis FxP APS module

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Dry etch cluster tool

CAPACITÉ:    

Module de gravure diélectrique

Conception de chambre sur mesure pour augmenter la stabilité du processus

Densité de plasma nécessaire à la gravure réussie de matériaux fortement liés

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