Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Lithographie / Revêtement / développement
TEL Tokyo Cleantrack ACT-8
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Distributeur et développeur de photo-résine
CAPACITÉ:
Possède une interface directe avec le stepper ASML
Adapté à la distribution de photo-résine positive ou négative
KMPR-1005 (1002), avec parois à 90 °
OIR-647-17 (11), murs droits
Permet à la cyclopentanone ou au HMDS de pré-mouiller pour les photo-résines concernées
Développe des résines positives et négatives
Comprend des capacités de cuisson douce et post-exposition
Développe des films secs
