Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Décapage
Ulvac Enviro 1Xa
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Ablation de polymère avancée en mode à une seule tranche
CAPACITÉ:
- Choix des sources de plasma
- Le gax de formage à 3.5% offre l’avantage de la catalyse pour la génération d’oxygène atomique dans le plasma
- Possibilité de gaz supplémentaire pour l’élimination des polymères de procédé Bosch
- Excellente uniformité et répétabilité
- Haut débit
- Détection de point final
- Incinération très rapide d’une variété de polymères:
