CAPACITÉ: Opération d’entrée / sortie automatisée de pod SMIF de séchage / séchage; Le mini-environnement dans un banc humide garantit
CAPACITÉ: Opération d’entrée / sortie automatisée de pod SMIF de séchage / séchage; Le mini-environnement dans un banc humide garantit
CAPABILITY: Dry-in/dry-out automated SMIF pod input/output operation; Mini-environment within wet bench secures class 1 clean room performance on the wafer