CAPACITÉ Tranche jusqu’à 200 mm de diamètre Tranches de production par chargement: 50 Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700
CAPACITÉ: Possède une interface directe avec le stepper ASML Adapté à la distribution de photo-résine positive ou négative KMPR-1005 (1002),
CAPACITÉ: Fournit plusieurs dimensions critiques en une seule mesure Superposition 2D et métrologie CD Reconnaissance de formes sur la topographie
CAPACITÉ: Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700 µm Types de tranches: silicium, verre,
CAPACITÉ: Réflectométrie spectroscopique UV-VIS-NIR-IR Épaisseur de film de 190 nm à 15.0 µm Propriétés du film (t, n, k): Films
CAPACITÉ: Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm Types de tranches: Silicium, Verre,
