CAPACITÉ:     Fournit plusieurs dimensions critiques en une seule mesure Superposition 2D et métrologie CD Reconnaissance de formes sur la topographie

CAPACITÉ:     Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700 µm Types de tranches: silicium, verre,

CAPACITÉ:     Réflectométrie spectroscopique UV-VIS-NIR-IR Épaisseur de film de 190 nm à 15.0 µm Propriétés du film (t, n, k): Films

CAPACITÉ:     Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm Types de tranches: Silicium, Verre,