En effet, les techniques de nettoyages qui ne nécessitent ni eau ni solvants sont toutes indiquées pour les fragiles composantes microélectroniques. Le plasma est une de ces techniques. Il s’agit de placer la pièce à nettoyer dans une chambre spécialement conçue, dans lequel le vide sera fait. La chambre est ensuite remplie d’un gaz ionisé. Selon le gaz choisi, l’action ne nettoyage sera différente. Par exemple, l’oxygène vous débarrassera des contaminations organiques par son action chimique, alors que l’argon délogera les contaminants en surface par son action mécanique. Il est aussi possible d’utiliser la méthode pour plus que du nettoyage. Un traitement au plasma peut aussi être utile pour changer l’énergie de surface pour promouvoir l’adhésion d’une colle.